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　　3月9日，科创半导体设备ETF（588710）报收1.715元，收跌2.83%，成交金额2.14亿元。换手率12.95%。

　　科创半导体设备ETF成立于2025年05月26日，管理人为华泰柏瑞基金，基金经理为李沐阳。今年以来基金回报13.51%，同类排名316/4784。

　　科创半导体设备ETF跟踪的指数为科创半导体材料设备（950125.SH）。上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。